(P56-P0139)CrSiCN 膜の機械的性質と微細組織に及ぼす熱処理の影響

摘要

切削工具の硬質保護膜として，遷移金属窒化物が広く使用されている.CrN 膜は優れた耐食性，耐酸化性，摩擦·摩耗特性を有し，比較的優れた機械的性質も有している.1)しかし，二元系のCrN 膜の特性は実用的には不十分となりつつある.そのため現在ではCrAlN 等の三元系以上薄膜の研究が行われている.我々の研究室では反応スパッタ法により作製されたCrSiCN 膜が30GPa 前後の硬さを示すことを報告した.そこで，本研究ではCrSiCN 膜に大気中およびAr 雰囲気中で熱処理を施し，熱処理による機械的性質や構造への影響を調べた.