Interaction Between Process Requirements and Ultrapure Water/Chemical Purity Level - (PPT)

机译：工艺要求与超纯水/化学纯度水平之间的相互作用 - （PPT）

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Values are requirements for the most advanced current and future technologies. Technology requirements are the typically defined at the POE: Known yield/reliability/process issues; Major OEM specs; Modeling. IC specs may be different (process specific considerations). Benchmarking data is used to support modeling and risk analyses.

机译：值是最先进的当前和未来技术的要求。技术要求是PoE通常定义的：已知的产量/可靠性/过程问题;主要的OEM规格;造型。 IC规范可能是不同的（过程具体的考虑）。基准数据用于支持建模和风险分析。

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来源
《SEMATECH Workshop on Nanoparticle Defectivity Issues in Solutions》|2013年||共17页
会议地点
作者
Slava Libman; Drew Sinha;
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正文语种
中图分类 TB383-53;
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