異方性弾性論と分子静力学を用いたミスフィット転位が存在する異種材界面の応力場解析

摘要

電子デバイス内部では多種多様な材料を積層し，異なる材料の接合界面が多く存在する．このような異種材接合界面では，材料定数の違いにより生じる弾性ひずみ場を緩和するためにミスフィット転位が発生する．このミスフィット転位は異種材接合界面の応力場に大きな影響を与えるため，弾性論の見地から評価を行うことが重要である．そこで本研究では，ミスフィット転位を有する異種材接合界面（半整合面）をHwu らが定義した弾性論で表現し，分子シミュレーションを用いた分子静力学法の結果と比較することで，その妥当性を検証することを目的とする．