( 145-0202) 超高圧電子顕微鏡による観察可能試料厚さの評価

摘要

超高圧電子顕微鏡は高い透過能を有することから、厚膜試料における組織観察に適しており、膜厚効果を示す現象の解析において不可欠である。特に、走査透過電子顕微鏡(STEM)像は透過電子顕微鏡(TEM)像と比較して、等厚干渉縞や等傾角干渉縞の影響が少なく、さらに色収差の影響を受けないことから、極厚試料観察に適している。講演者らは最近、単結晶Si 楔形厚膜を用いて、加速電圧1 MV における観察可能厚さの定量評価を行い、明視野(BF)STEM 像において転位線が観察される最大試料厚さは14.7 μm であることを報告した[1]。本研究では、同様の手法により、GaN 厚膜中の貫通転位を指標として、観察可能な試料厚さを定量評価することを目的とした。