(700-0165)高周波グロー放電スパッタ（rf-GDS）を利用したナノインデンテーション用バルクサンプルに対する表面仕上げ法の試行

摘要

ナノインデンテーションは，荷重と圧子の押込み深さの関係を連続的に計測して硬さや弾性定数などを測定する力学試験である．圧子の押込み深さは通常100 nm 程度と浅いため，試料の表面はダメージの影響を最小限に抑える仕上げ研磨を施すことが望ましい．電解研磨はバルクの金属材料に対する表面仕上げに有効な手法の一つであるが，近年電解研磨が困難な材料に対してもナノインデンテーション用いた力学特性測定に期待が高まっており，新たな表面仕上げ法の確立が求められている．本研究は，50 eV 程度の低エネルギーでスパッタできる高周波グロー放電スパッタ（rf-GDS）を利用した表面仕上げを試行し，その適応性を検討することを目的とした．