高気圧窒素混合ガスの供給電子数の減少要因III

摘要

SF_6の代替ガスとして，窒素を用いる場合には高気圧にて用いられる。ところで，窒素は放電により高い内部エネルギーを持つ活性種を生じ，密閉容器中でくりかえし放電した場合，それが高気圧中でも放電停止後も電子の供給に関与することが示唆されている。窒素混合ガスでは供給電子数が減少する結果が得られており，NOでは活性種の持つ内部エネルギーの解放作用，SF_6では電子付着作用による電子の減少が期待されている。本報告では，N_2にSF_6，NOおよびSF_6代替ガスの一つであるCF_3Iを混合した場合の供給電子数の変化を調べた結果をまとめている。