ポリベンゾイミダゾール樹脂のMEMS材料としての適用性検討

摘要

実験の結果，加熱温度が400°Cまでであれば外観および機械特性に大きな変化は見られなかった．一方，450°Cで加熱した場合，若干の変色および形状の収縮が確認された．また，500°Cで加熱した場合は外観が黒色に変化し，さらに著しい脆化がみられ，ピンセットで把持する際に形状が崩れた．このことから，ガラス転移点である430°Cの前後で大きな変質が発生する推測される．今後はこの430°C付近で細かく加熱温度を変化させ，PBI耐熱特性を評価する予定である．