gas flow sputtering; PZT; high frequency ultrasound; micro actuator; micro structuring;
机译:电泳沉积锆钛酸铅厚膜的高频超声换能器
机译:高频超声换能器硅基板上钛酸锆钛酸铅厚膜结构的阻抗响应
机译:自分离水热锆酸钛酸铅厚膜,用于高频换能器应用
机译:气流溅射粗柱铅锆钛酸钛酸盐,用于高频超声换能器的硅晶片
机译:钛酸锆酸铅-环氧树脂-多壁碳纳米管本体与柔性厚膜复合材料的实验研究
机译:自分离水热锆酸钛酸铅厚膜用于高频换能器应用
机译:高频超声换能器上硅片上气流溅射的柱状钛酸锆钛酸铅厚层。