Nanostrukturierte Beugungsgitter als angepasste integrierbare Polarisationsstrahlteiler

摘要

Polarisationsoptische Strahlteiler finden vielfaltige Anwendung in optischen Systemen, zum Beispiel in der Oberflachen-messtechnik. Die dabei benotigte Verkippung oder die Faltung des Strahlengangs mit klassischen Polarisationsstrahlteilern erschwert die Integration in kompakte optische Messsysteme. Vorgestellt wird das Design und der Fertigungsprozess eines nanostrukturierten Beugungsgitters. Es wird mit den Mitteln der Nanoimprint-Lithographie gefertigt und besitzt verschiedene Beugungseffizienzen fur TE- und TM-Polarisation und ermoglicht somit kompakt und in-line die effiziente Trennung von Beleuchtungs- und Detektionsstrahlengang.