Prasentiert wird das Design eines dreidimensionalen, elektrostatischen Aktuators, der die vertikale Bewegung einer Plattform mit einem Durchmesser von 260 μm in einem mikrofluidischen Kanal ermoglicht. Die Plattform ist an drei konischen Federn mit einer Lange von je 1 mm und einem rechteckigen Querschnitt von 10 μm mal 5 μm befestigt und kann sich um 40 μm reversibel nach oben bewegen. Durch das Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen der Plattform und einem leitfahigen Chipmaterial wird ein Ventil realisiert, mit dem ein mikrofluidischer Kontakt (Zufluss oder Abfluss) in dem Chip geschlossen wird. Das Ventil dient dem Abdichten einer Kammer und wird geschlossen, wenn kein Fluss anliegt.
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