Erweiterung des Anwendungsbereiches von Siliziumdehnungssensoren durch Montagetrager

摘要

Siliziumdehnungsmesssensoren oder Siliziumdehnmessstreifen (Si-DMS) substituieren in einige Anwendungen, insbesondere im Bereich Druckmesstechnik, die piezoresistiven Dunnschicht- und Dickschichtwiderstande. Der hohere Koppelfaktor und die deutlich hohere Langzeitstabilitat machen diese Sensoren zunehmend interessant fur weitere Anwen-dungen. Besonders hohe Anforderungen an die Montage bereitet die geometrische Grosse der Prufkorper. Die Prozesse, wie sie fur kleine Prufkorper ublich sind, z.B. Glasfritt- und Drahtbonden, stossen schnell an ihre Grenzen. Thermische Prozesse sind aufgrund der Masse des Prufkorpers unwirtschaftlich oder nicht gewunscht. Die Drahtbondprozesse an grossen Prufkorpern sind sehr aufwendig und sollen vermieden werden. Die Prufkorper sind lange Rohre, Druckbehalter, Maschinenschrauben oder Federkorper fur Kraftsensoren. Durch die Verwendung von Montagetragern kann der Anwen-dungsbereich erweitert werden.