Mikromechanischer Analog-Digital Wandler zur Digitalisierung mechanischer Verschiebungen

摘要

Im Rahmen dieses Beitrags wird das Design, die Fertigung und die Charakterisierung eines passiven mikromechanischen Analog-Digital Wandlers vorgestellt, der eine mechanische Verschiebung direkt in einen parallelen elektrisch auslesbaren Binarcode wandelt. Es wird zudem gezeigt, wie eine vordefinierte, beliebige Ubertragungsfunktion direkt am mikromechanischen A/D Wandler implementiert werden kann, um das Messsignal einer primaren Messgrosse zu linearisieren.