Dieser Beitrag beschreibt die Entwicklung von Mikroventilen und darauf aufbauender mikrofluidischer Systeme auf Basis strukturierter Folien aus Formgedachtnislegierung (FGL). Dies beinhaltet im Detail die Auslegung, Konstruktion und Charakterisierung der Ventilkomponenten sowie deren Integration uber Schnittstellen mit mikrofluidischen Systemen. Formgedachtnislegierungen eignen sich auf Grund ihrer hohen Leistungsdichte und des gunstigen Skalierungsverhaltens ihrer Arbeitsdichte bei Verkleinerung der ausseren Abmessungen hervorragend zur Realisierung mikrofluidischer Anwendungen. Die Fertigung der FGL-Folien erfolgt stuckzahlenabhangig durch Atzen nasschemisch auf Waferebene, Lasern oder Stanzen. Die Herstellung der polymeren Ventilkomponenten erfolgt ebenfalls in Abhangigkeit der Stuckzahlen mittels verschiedener Fertigungstechnologien wie Frasen, Heisspragen oder unter besonderer Berucksichtigung der flexiblen kostengunstigen Fertigung durch Rapid Manufacturing wie beispielsweise durch Stereolithografie. Diese Variationsmoglichkeit der Fertigungstechnologien ermoglicht sowohl schnell auf geforderte Spezifikationen einzugehen als auch kostengunstig in flexiblen Stuckzahlen zu produzieren.
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