Silizium-Photonik: Integriertes Sensorkonzept fur die Detektion von Gasen und Flussigkeiten

摘要

Wir stellen in dieser Veroffentlichung ein Konzept eines integrierten Spektrometers fur die Bestimmung der Luftfeuchtigkeit vor. Dabei geben wir einen Uberblick uber die moglichen Anwendungen und die verwendeten Technologien wie die Silizium-Photonik. Das integrierte Spektrometer besteht aus einem Sensorchip und einem Steuer- und Auslesechip, beide mit Silizium-CMOS-Technologie hergestellt und auf einer Platine aufgebaut. Das Licht wird mit aufgebauten Laserdioden in den Chip geleitet und mit integrierten Germanium-Dioden detektiert. Das Layout der Auswerteschaltung und die Prozessergebnisse der einzelnen Komponenten werden vorgestellt.