Komplexe Systeme in Folie - Heterogene Systemintegration auf Basis dunner Si-Chips und flexibler Substrate

摘要

Hybride Systeme in Folie mit integrierten ultradunnen Siliziumchips sind die Basis fur eine neue Generation elektronischer Systeme. In Kombination mit Drucktechniken und organischer Elektronik entstehen intelligente und autonome Sensorsysteme, die formanpassbar und flexibel sind. Anwendungsdemonstratoren aus der Industrieautomation und Robotik dienen zur Entwicklung und Erprobung dieser Technologien. Ein Biege- und Stress-Sensorsystem fur einen bionischen Greiffinger sowie eine manipulationssichere Turuberwachung sind zwei Beispiele fur das Anwendungsspektrum.