Entwicklung eines miniaturisierten Flammenionisationsdetektors in der keramischen Mehrlagentechnologie fur den Schutz vor explosionsfahigen Gasgemischen

摘要

Gassensorische Losungen zur Vermeidung explosionsfahiger Atmospharen haben fur die zivile Sicherheit eine erhebliche Bedeutung. Im Beitrag werden geeignete Messverfahren zur Luftuberwachung aufgefuhrt und hinsichtlich ihrer Vor- und Nachteile gegenubergestellt. Der Flammenionisationsdetektor (FID) weist dabei substanzielle Vorteile auf, macht jedoch den Einsatz neuer mikrosystemtechnischer Fertigungsverfahren notwendig. Aufgrund der hohen Anforderungen an das sensorische Element ist die keramische Mehrlagentechnologie das bestmogliche Fertigungsverfahren. Die keramische Mehrlagentechnologie wird vorgestellt und die sich ergebenden Vorteile fur das FID-Messverfahren aufgefuhrt.