Mikropumpe mit elektrostatischem Direktantrieb

摘要

Der Beitrag stellt das Aktorprinzip einer neuartigen Mikropumpe vor. Zunachst wird ein Algorithmus zur Dimensionierung pumpender Mikrostrukturen beschrieben und diskutiert. Aufbauend auf der Theorie und der daraus resultierenden Dimensionierung der Mikrostrukturen wird ein Technologiekonzept zur Herstellung der Mikropumpe abgeleitet. Ein Benetzungsexperiment verifiziert den Entwurfsalgorithmus. Die elektrostatische Auslenkung der virtuellen Membranen in die Kavitaten der pumpenden Mikrostrukturen hinein wurde mittels Immersionsmikroskopie nachgewiesen.