Flachbauendes Multiaperturmikroskop mit hohem Auflosungsvermogen

摘要

Zahlreiche Anwendungen im Bereich der Vor-Ort-Diagnostik verlangen nach der grundlegenden Funktionalitat eines Mikroskops jedoch in einem sehr viel kompakteren Format (z.B. Grosse eines Smartphones), mit der Moglichkeit zur schnellen Erfassung eines mehrere Quadratmillimeter grossen Objektfeldes, mit hoher Sensitivitat aber vergleichsweise kleinen Herstellungskosten. Eine potentielle Losung bietet der hier vorgestellte Ansatz einer parallelen Abbildung durch multiple Objektivkanale bei der jeder Einzelkanal miniaturisiert ist und somit nur einen kleinen Objektfeldbereich ubertragt. Ein Array von (m × n) dieser optischen Kanale ubertragt bei gleicher Baulange das (m × n)-fache der einzelnen Objektfeldgrosse. Fur die Herstellung der optischen Elemente kommen mikrooptische Fertigungsprozesse zum Einsatz welche eine Erreichung der notwendigen Toleranzen fur mikroskalige Abbildungsoptik auch in grosseren Stuckzahlen ermoglichen. Die Machbarkeit einer solchen Anordnung wird anhand eines Beispielsystems mit einer numerischen Apertur von 0,3 und einem experimentell nachgewiesenen Auflosungsvermogen von 1,1 μm bei einer Bauhohe von weniger als 8mm demonstriert.