13.5nm Emission; Capillary Discharge; EUV source; Extreme ultravilet lithograph; Xe discharge;
机译:毛细管放电产生的等离子体产生的极紫外辐射
机译:激光辐照的低密度Xe目标的极紫外发射
机译:亚焦耳快速毛细管放电的极紫外发射和等离子体动力学的时间分辨研究
机译:以Xe为靶的毛细管放电在10nm至70nm之间的极紫外发射的观察和分析
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:氩极紫外光电离中电子发射的对称分解
机译:毛细管排放极端紫外线激光器。 1990年12月15日的最终报告 - 1994年2月28日。排放泵床顶部软X射线激光器的示范
机译:毛细管放电极紫外激光。最终报告,1990年12月15日 - 1994年2月28日。放电泵式台式软X射线激光器的演示