大型搬送装置移動に伴うクリーンルーム内気流の特性評価

摘要

クリーンノレム内において、気流の舌肌は微粒子などの汚染物質を巻き上げ、拡散させる要因となる。半導体デバイス、フラットパネルディスプレイなどの製造環境として用いられる産業用クリーンノレムでは、近年、自動搬送装置やクリーンストッカなどさまざまな走行装置が多用されている。しかし、これらの装置の走行をこ伴い発生する誘引気流は、周囲のクリーン環境を阻害する一因にもなっており、特にフラットパネルディスプレイの製造工程では、基板の大型化に伴い各種走行装置も大型化し、誘引気流がクリーンルーム内気流に及ぼす影響は大きい。