複合砥粒の滞留性改善による研磨特性向上

摘要

現在，ガラス研磨には高い研磨能率と優れた仕上げ面粗さを得られることから，酸化セリウム砥粒が多く用いられている．酸化セリウムは比重が大きく，ガラスとの親和性が高いため研磨能率が高くなるが，一方でこれらの特性はスラリー中の分散挙動や加工後の工作物の洗浄性に悪影響を与えている．さらに，酸化セリウムは供給のほとhどを特定国からの輸入に頼っており，近年では輸出制限などにより，その供給に不安を抱えている．そのため，使用量削減技術の確立は急務となっている．これらの問題に対して，我々はこれまでの研究にて開発を行ってきた複合砥粒を用いることで改善を行ってきた．複合砥粒は平均粒径が約10μm のポリマ微粒子を母粒子にして，その周囲に子粒子である砥粒を機械的に付着することで製作される．複合砥粒を研磨に用いることで，砥粒単体のときよりも比重が小さくなり，さらに研磨能率も向上する．また，製作時に母粒子に付着しなかった砥粒を除去する分級作業を行うことで洗浄性も改善することができた．本研究では分級を行った複合砥粒について，滞留性を改善することで研磨特性を向上させることを試みた．その結果を報告する．