アクティブスクリーンプラズマ浸炭による γ 系ステンレス鋼の拡張オーステナイト相形成におけるバイアス電率の影響

摘要

オーステナイト系ステンレス鋼について，耐食性を損なわずに硬さを高められる拡張オーステナイト相（S 相）を形成させる方法として，アクティブスクリーンプラズマ処理法による低温浸炭/窒化が研究されているが，従来の直流プラズマ法に比べ大幅に時間がかかる．そこで，著者らは従来の直流プラズマ処理にアクティブスクリーンを併用させた低温プラズマ浸炭処理の研究を進めている．これまでに，メタン（CH_4）と水素のガス流量比率により形成効率に最適値があることがわかった．本研究では S 相の形成に及ぼすバイアス電流の影響について検討し，形成した S 相の硬さや耐摩耗性についても調査を行った．