ホットウォール加熱型PLD装置によるGd123厚膜化

摘要

フジクラでは、PLD法を用いてより安定した温度環境で気相蒸着可能な技術の開発を行っている。今回、加熱方式の異なる2タイプのPLD装置において、Gd123厚膜化の比較検討を行ったので報告する。