多孔質アルミナ製Cs 生成源を使ったCSAC 用MEMS 型ガスセルの開発

摘要

CSAC の構成要素の1 つであるMEMS 型ガスセルの新 しいウェハレベル加工技術として，多孔質アルミナの細孔 構造にCsN3 を析出したAMST を用いた作製方法を開発し た。本研究で提案した多孔質アルミナ製Cs 生成源は，多孔 質アルミナの3 次元微細構造を活用することで，従来のアCsN_3 を生成源とするMEMS 型ガスセルの作製方法よりも 低温かつ短時間で効率的にCs をガスセル内に封入できる ことを確認した。またCPT 共鳴の観測結果とそれから算出 した短期安定度の評価の結果，AMST を用いて作製した MEMS 型ガスセルはCSAC に必要な基本性能が得られて いることを確認した。