積層メタル技術によるMEMS加速度センサを用いた慣性センサモジュールの検討

摘要

MEMS (Microelectromechanical systems)技術による加速度センサは，小型化，軽量化が可能なことから，携帯端末を始めとする様々な機器への搭載が進hでいる。我々の身の回りでも，ヘルスモニタリング（万歩計，活動量計）やゲーム機のコントローラ，自動車のエアバック，建築物の状態（傾斜）モニタリングなど様々な分野で応用が広が つている。