微細結晶粒からなる塩素ドープ結晶セレン光電変換膜を積層したイメージセンサ

摘要

塩素ドープ結晶セレンを光電変換膜として適用した積層型CMOS イメージセンサを開発した。イメージセンサの画素サイ ズと結晶セレンの結晶粒径との関係が撮影画像の画質に大きく影響するため，今回，結晶セレンに塩素をドープすることで結 晶粒径を微細化し，局所的な電界集中に伴う白キズの発生を抑制した高画質な映像の取得に成功した。