環境チャンバ内でのマイクロスケールシリコンの強度測定

摘要

近年ではセンサやアクチュエータといった MEMS 技術は，家電?自動車?化学?エネルギー?医療などの一般分野のみならず宇宙開発などあらゆるところで活躍している。機械的な要素を含むデバイスの実用化，高性能化を狙うときに欠かせないものは，その物質の機械的特性である。MEMSデバイスの構造においてその代表的な主材料はマイクロスケールシリコンである。マイクロスケールシリコンを用いたデバイス解析や設計，プロセスの最適化などを行うためには，マイクロスケールシリコンの機械的特性のデータベースが必要不可欠であり，近年ではマイクロスケールシリコンの機械的特性は報告されている。