trilayer; plasma etch; RIE; pattern transfer; atom implantation; spin-on carbon (SOC); SiARC;
机译:吸附气体对GE8AS2T13S3无定形膜的运输机制的影响
机译:薄膜中Cu_2(OB_2)_2(O_2C(CH_2)_4CH_3)_4的固态光化学:高质量的铜和氧化铜(I)薄膜的光化学形成。演示用于铜构图的新型光刻技术
机译:聚硅烷膜的离子光碱发生器和光刻图案化的结构分析
机译:RIE气体对平版印刷胶片的意外影响
机译:胶体薄膜的蒸发光刻图案。
机译:高氟化钛酸钡纳米粒子分散体的光刻图案化薄膜的制造
机译:基于电化学胶束组装的介孔金属薄膜设计图案化与光谱技术合并