10nm; line end shortening; iso-dense bias; ALD spacer; CD shrink;
机译:蚀刻的Si纳米线上的涂银的铂核-壳纳米结构:原子层沉积(ALD)工艺及其在SERS中的应用
机译:在45纳米节点互补金属氧化物半导体的高压缩接触蚀刻停止层下使用缓冲层的新型负偏置温度不稳定性改善
机译:使用模块级APC方法改进多晶硅蚀刻偏置和晶体管栅极控制
机译:通过ALD垫片收缩工艺缩短线端并显着改善蚀刻偏差
机译:在广阔的“新城市”中将空间变成空间:空间的缩小,空间的视野,冲突中的房主。
机译:混合并行工作流调度中处理器分配的迭代扩展和收缩过程
机译:通过退火工艺优化,通过ALD W填充金属在Si P-FinFET中减轻负偏置温度不稳定性