Self-aligned multiple patterning; SADP; SAQP; SAMP; LER; local CDU; pattern fidelity;
机译:工艺参数对自对准多重构图工艺图形形成的影响
机译:交替材料自对准多重构图的工艺开发和边缘放置良率建模
机译:具有自对准多重图案化过程的扩展能力
机译:自对准多重图案化过程中的全面保真度管理
机译:Stagioni:温度管理可实现视觉和成像工作负载的性能,保真度和能源效率的近传感器处理
机译:优化的基于ARROW的MMI波导用于高保真激励模式实现光流复用
机译:通过自对准多个图案化过程使缩放功能能够实现