Optical Coupler; waveguide; micro optics; silicon photonics; CMOS compatible fabrication;
机译:用于光学互连LSI的自旋涂层光波导的制造及其制造工艺对底层金属氧化物半导体电容器的影响
机译:用于聚合物光波导制造的硅基底上旋涂薄膜的界面粘合
机译:片上耦合谐振器光波导单光子缓冲器
机译:使用缓冲涂层材料在单个基板上进行3D光耦合器和波导制造的工艺优化
机译:铌酸锂波导的光学特性,以及用于优化波导制造的棱镜耦合。
机译:片上耦合谐振器光波导单光子缓冲器
机译:片上耦合谐振器光波导单光子缓冲器
机译:用于将集成光学波导结构制造成玻璃基板的离子交换过程