optical and mechanical system; scanning mirror; pointing error; geometric error;
机译:基于多微机电系统镜的偏心扫描光学相干断层扫描探头的成像分析与重建方法
机译:基于微机电系统扫描镜的微型光学分辨率光声显微镜
机译:基于微机电系统镜面扫描的小型化全光学光声显微镜
机译:复杂光学系统中扫描镜的空间误差分析
机译:基于激光扫描的形状误差检测的空间数据分析
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