Einfluss der Anodisierbedingungen auf die Morphologie - eine Parameterstudie

摘要

Der Einfluss der Parametervariation beim Anodisieren auf die Morphologieentwicklung der Oxidschichten wurde untersucht. Wichtige Parameter wie die Badtemperatur und die Haltezeit wurden variiert. Es zeigte sich, dass Schichtdicke und Porendurchmesser sehr stark auf Parameteranderungen reagieren. Um das gewunschte Oxiddesign einzustellen, existiert nur ein kleines Prozessfenster. Eine Erhohung der Badtemperatur verscharft die Situation und verringert das zulassige Prozessfenster.