Mit zunehmender Miniaturisierung von Bauteilen in der Mikro- und Nanotechnologie steigen auch die Anforderungen an geeignete Charakterisierungsmethoden. Insbesondere im Bereich der optischen Bauteile ist die Entwicklung von metrologischen Methoden schwierig, da hier nicht nur eine hohe Ortsauflosung, sondern auch die Vermessung von komplexen Probengeometrien erforderlich ist. Eines der wichtigsten Instrumente zur Vermessung von Strukturen und Rauheiten auf sehr kleinen Grossenordnungen ist das Rasterkraftmikroskop (RKM). Einen vielversprechenden Ansatz zur Erweiterung der bisherigen Fahigkeiten von RKMs stellen sogenannte NanoBits dar. Dies sind kleine Strukturen (ca. 3×5μm~2, 200nm dick), die als auswechselbare Messspitzen in einem konventionellen RKM dienen. Grundlegendes Prinzip ist, dass die NanoBits in-situ im RKM gewechselt werden konnen. Zu diesem Zweck mussen die NanoBits in Magazinen prapariert werden, sodass sie direkt dem RKM zugefuhrt werden konnen. Die Bestuckung eines solchen Magazins stellt dabei jedoch aufgrund der geringen Grossenordnung eine Herausforderung dar. Der entwickelte Montageprozess findet daher im Rasterelektronenmikroskop (REM) statt. Unter Einsatz einer speziellen Softwarelosung zur Steuerung und Bildverarbeitung ist ein vollstandig automatisierter Montageprozess entwickelt worden.
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