Zinc Oxide; Al-doped ZnO; Post-Annealing; Morphology; Atomic Layer Deposition;
机译:使用烷氧基锌前驱体甲基异丙醇锌沉积未掺杂和铝掺杂的ZnO薄膜的原子层沉积
机译:原子层沉积Al掺杂ZnO薄膜的电磁干扰屏蔽效能特征
机译:不同原子浓度和沉积温度的原子层沉积铝掺杂ZnO薄膜的光学,结构和电学性质研究
机译:对由原子层沉积沉积的未掺杂和Al掺杂的ZnO薄膜的表面粗糙度的后退火效应
机译:用于大面积电路应用的等离子增强原子层沉积ZnO薄膜晶体管。
机译:Al掺杂对原子层沉积ZnO薄膜性能的影响
机译:通过原子层沉积在具有纳米尺寸粗糙度的表面上沉积的非晶薄膜的表面平滑效果