Optics selection by high magnification optical micrograph in bright field inspection

机译：高倍率光学显微照片在明田检验中选择光学选择

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Advanced bright field (BF) inspector have many functions to increase the defect signal, and suppress the background noise. However, it will take much time to fine tune an optimized BF inspection recipe. The aim of this paper is to propose a faster way to select the optimized optics.

机译：先进的明亮场（BF）检查员有许多功能来增加缺陷信号，并抑制背景噪声。但是，微调优化的BF检查配方需要很多时间。本文的目的是提出更快的方法来选择优化的光学器件。

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来源
《e-Manufacturing Design Collaboration Symposium》|2012年||共2页
会议地点
作者
Chen Chi-Min; Chen Yi-Chin; Luoh Tuung; Yang Ling-Wu; Yang Tahone; Chen Kuang-Chao; Lu Chih-Yuan;
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正文语种
中图分类 TN3-53;
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