Smart sampling by tool base dispatching in 300mm FAB

机译：通过工具基础调度300mm Fab的智能采样

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• The difference after system implementation: • Through this system, each tool has product inspection data everyday. So we can get quickly response from each tool.

机译：•系统实现后的差异：•通过该系统，每个工具每天都有产品检测数据。所以我们可以从每个工具中快速响应。

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来源
《e-Manufacturing Design Collaboration Symposium》|2011年||共10页
会议地点
作者
Huang Tai-Siang;
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正文语种
中图分类 TN3-53;
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