机译:亚大气化学气相沉积工艺,用于通过硅通孔以高长宽比沉积氧化层
机译:通过光化学气相沉积法在4H-SiC上沉积SiO_2层
机译:金属有机化学气相沉积法制备(Ba,Sr)TiO {sub} 3薄膜多层电容器的介电性能
机译:高纵横比TSV中的介电层SiO_2的亚大气压化学气相沉积
机译:PECVD系统的设计,构造和运行以及通过低压化学气相沉积法开发的GeO(2)-SiO(2)薄膜玻璃电介质。
机译:通过原子层沉积和化学气相沉积在高纵横比结构中沉积的薄膜的ToF-SIMS 3D分析
机译:用于增强化学气相沉积中的二谐波产生的混合介电元件生长MOS2单层