表面および界面の力学的特性を考慮した薄膜を有する半無限異方性弾性体の接触解析

摘要

近年，ハードディスク等の薄膜を有する電子機器等に用いられるようになり，薄膜の力学的特性に関する研究が盛hに行われている．ナノスケールの薄膜では体積に対する表面や界面の割合が大きくなるため，表面や界面の力学的特性を考慮することも必要である．本研究では表面および界面の力学的特性を考慮した薄膜を有する半無限異方性弾性体の表面グリーン関数を用い，接触解析を行う．接触解析ではいくつかの薄膜厚みで解析を行い，押し込み深さに対する表面および界面の力学的特性と薄膜厚みの影響について調べたので，報告する．