テラへルツ·パルス·エコー法を用いた不透明薄膜の非接触リモート膜厚計測(塗装膜計測への応用）

摘要

自動車ボディを始めとした様々な工業製品においては、基板（素地）の防腐·防靖·防水·色彩効果の目的か ら、表面塗装が施されている。塗装の厚さムラ（不均一性）や品質不良（乾燥不十分、気泡、異物混入、剥離他） はこれらの効果を低下させることから、塗装膜測定は塗装製品の品質管理のために重要である。これまでは、塗 装膜や基板の種類によって各種の接触式膜厚計（電磁誘導式、渦電流式、超音波式）が利用されてきたが、移動 物体やウエット膜への応用が困難であった。もし、非接触リモートな膜厚測定が実現できれば、塗装工程におけ るインプロセス·モニタリングが可能になり、塗装膜品質の向上に貢献すると考えられる。