Anwendungsgebiete und Grenzen der Konfokaltechnik

摘要

Der Artikel gibt eine kurze Einfuhrung in die Grundlagen und Funktionsweise der konfokalen Topographiemessung. Es wird ein Klassifikationsschema fur die Methoden der Oberflachencharakterisierung vorgestellt und anhand dessen die Anwendungsfelder der Konfokaltechnik erlautert. Schliesslich geht der Artikel auf die Grenzbereiche der Konfokaltechnik ein und zeigt anhand verschiedener Beispiele auf, was bei der Vermessung von steilen Flanken, Hinterschnitten und hochdynamischen Oberflachen moglich ist.