UV-NILで作製したピラー形状レプリカモールドの転写耐久性向上

摘要

本研究では高硬度のUV硬化樹脂OEX-028-X434-3（Autex（株）製，以後X434-3）を用いてUVナノインプリントリソグラフィ（UV-NIL）によって凸形状の離型剤フリーレプリカモールドを作製し，作製したレプリカモールドを用いて繰り返し転写を行った．このUV硬化樹脂は従来研究で使用してきた離型剤フリーのUV硬化樹脂PARQUIT OEX-028-X433-3（Autex（株）製，以後X433-3）と比較して高い硬度を持ち，繰り返し転写耐久性に期待できる．また，低表面自由エネルギー成分を含むエポキシ系の樹脂であり，転写後加熱することで低表面自由エネルギーを持つ成分が表面を向き，レプリカモールドの離型性が向上する．この工程によって離型剤やリンス剤への浸漬により金型の離型性を向上させる工程が不要となる．さらに，転写樹脂に反応性のフッ素材料である添加剤を加えることで転写樹脂の離型性を向上させ，転写物の精度向上を図った．