法線ベクトル検出型超精密形状測定法による凸球面ミラーの形状測定

摘要

次世代高精度光学素子の製作には、形状誤差を1～10nmPVの精度で非球面の形状を測定することが不可欠である。そこで新しく、光の直進性とゴニオメータの高精度回転を利用した自由曲面形状を測定する、法線ベクトル検出型超精密測定法を提案した。試料表面の任意測定点の座標と法線ベクトルを測定し、それらを独自のアルゴリズムによって試料表面の形状を復元する。本測定法は基準面を用いないため、非球面の絶対形状を測定できる能力を有している。また、非接触式のため試料を傷付けることはない。本稿では、凸球面ミラーの形状導出アルゴリズムとその測定結果を報告する。