斜対称圧電セラミック平板振動子の縦1次－屈曲2次結合振動を利用する超音波モータ

摘要

本報告では、W／L＝0.6の斜対称振動子を用いる超音波モータについて検討を加えている。最初に斜対称角が5°の振動子について、各モードの振動子としての特性を調べ、次に各辺の変位の測定からW/L＝0.25の振動子の場合と同様にモードの切り替えによって正逆回転の特性が得られることを示した。最後にモータを試作し、その特性の一例を示している。