中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製（第9報）: プラズマCVM加工後の形状および表面粗さの評価

摘要

近年，中性子線を用いた構造解析技術が注目されている．中性子線はX線や電子線とは異なり，電気的に中性であることや，原子核によって散乱されるなどの特徴を持っている．このことにより，透過性がよく，同位体や軽元素の識別能に優れている．また，磁気モーメントを有するため，磁性材料の構造解析も可能である．この特徴を活かし，中性子線を用いた物質構造解析は，タンパク質の構造解析や電池中の水やリチウムの挙動解析，磁場の可視化など多岐にわたる分野に貢献する基盤技術として実用化されている．さらに，中性子線をプローブとした結像型顕微鏡を開発することで微小構造を持つ磁性体や軽元素が観察できると期待されているが，一方で，現在得られる中性子線の強度はX線等と比べて極端に弱いという問題があり，利用効率を上げるため高反射率の高精度拡大結像デバイスの開発が急務である．そこで我々はWolter I型スーパーミラーの作製に取り組hでいる．