静電誘導給電法を用いた微細穴の電解加工の研究

摘要

電解加工においては，極間が広い部分においても電流が流れさえすれば陽極溶解が発生してしまい，加工精度が悪くなってしまう．そのため，微細電解加工においては電流を所望の場所に集中させるための方策が必要となる．その方策のひとつとして，極間に超短パルスの電流を流すことで，電気二重層の充電を防ぎ，河口を数μmの範囲に制限することが可能となる．小谷野らは微細放電加工のために開発された静電誘導給電法を微細電解加工に適用させることで容易に微細加工を可能にした．