積層型圧電素子を用いた浮上機構の浮上量推定

摘要

レーザ変位計に代わる浮上機構の浮上量を測定する方法として、浮上機構のプレートと浮上面が金属であることから、浮上機構が浮上した際の両者の間の静電容量を測定することによって、浮上機構の浮上量推定を行った。しかし、レーザ変位計と浮上量推定の結果とで測定結果の浮上量が10倍近くの差がある結果となった。そのため今後は、この差の原因を明らかにし、浮上量制御に利用したいと考えている。