ウレタン·エポキシの混合樹脂を含浸した不織布研磨パッドの開発

摘要

研磨パッドは，研磨時に砥粒を分散させたスラリーを工作物の中火まで安定して供給し，研磨砥粒を工作物に作用させる役割を担っている．ガラスの研磨工程で多く用いられる多孔質ウレタン樹脂研磨パッドにおいて，エポキシ樹脂を通用すると，砥粒の滞留性が向上し，従来のウレタン樹脂を用いた多孔質研磨パッドよりも，親水性の高いエポキシ樹脂を通用した場合の方が高い研磨特性が得られることが知られている．さらに，エポキシ樹脂を含浸した不織布研磨パッドは，従来のウレタン樹脂含浸不織布研磨パッドより研磨特性が良いとされている．エポキシ樹脂とウレタン樹脂を 2 工程で含浸した 2 段含浸不織布研磨パッドは，エポキシ樹脂のみ含浸した不織布研磨パッドより研磨特性がよいことが確誌されている．