微粒子励振型空気流量比例制御弁の流量特性の改善方法の考案 第4報 制御領域の拡大を目指した微粒子による開口条件の調節

摘要

本研究では，微粒子を流路に封入し，圧電素子を用いて励振させ，弁の開口度を調節する微粒子励振型空気流量比例制御弁の開発を行っている．前報では，オリフィス上に配置した微粒子が離れない範囲で運動を制御し流量を調節する駆動方法を考案し，任意の安定流量を高応答で出力できることを確認した．一方で，考案した駆動方法では制御可能な流量域が小さいという課題がある．そこで，本報では，制御可能な流量域の拡大を行うために制御弁の開口条件を調節する方法を提案し実験を行った．