パラレルメカニズムを用いた高速·高精度3次元座標計測システム（第24報）－キャリブレーション方法の検討

摘要

現在，機械部品の立体的な寸法などを測定するために3次元座標測定機（Coordinate Measuring Machine：CMM）が用いられている．その多くは直交座標形3次元座標測定機であるが校正法が確立されているものの問題点は多い．これに比べ複数の連結連鎖を並行に連結した機構であるパラレルメカニズムを用いた3次元座標測定機は，直交座標形の問題点を解決し，高精度，高剛性，高速移動が可能でありその利用が期待される．しかし校正方法は確立されていない．本研究では3 自由度パラレルメカニズムに測長器を内蔵した冗長な受動連結連鎖（以下，受動連鎖）を3か所に取付け，その長さ誤差を利用し機構パラメータを推定してきた．本報では校正のシミュレーションと実験を行った結果について報告する．